Sistema de posicionamiento 1 eje 782300:212.26

rotativopara inspección de obleas y metrologíapara la industria de los semiconductores

Sistema X Phi para el posicionamiento de lentes ópticas, cilindros Personalizable: - Ideal para la medición óptica de piezas redondas, por ejemplo, obleas, ópticas - Ahorra la compra adicional de un eje de carga gracias a los movimientos giratorios de alta precisión con carrera - Alta repetibilidad de hasta 0,0017 - Se desplaza con precisión de 1,9 µm con X hasta la posición de medición Este sistema de posicionamiento X-Phi se compone de ejes estándar de alta precisión y durabilidad de la etapa lineal PMT160 y, para la rotación, del DTS130-HM. Es ideal para aplicaciones de medición en las que la probeta se desplaza con precisión a la posición de medición y, por tanto, no se requiere ningún eje de avance adicional. Especificaciones: - Sistema estándar: PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - Recorrido: 135 mm (X) / n x 360 mm (Phi (Rz)) - Repetibilidad: ± 1,9 - ± 2,4 µm (X) / ± 0,0017 - ± 0,005 µm (Phi (Rz)) - Velocidad de posicionamiento: 10 mm/s (X) / 50 mm/s (Phi (Rz)) - Carga máx: 150 N (X) / 74 N (Phi (Rz)) - Motor: Motor DC, husillo a bolas (XZ) / servo AC (Phi (Rz)) - Retroalimentación: Escala lineal (XZ) / Escala angular (Phi (Rz)) Personalizable: - Recorridos de hasta 300 mm - Placa base de granito o aluminio - Disponible con escala interna (270 mm) - Combinable con otras plataformas giratorias, p. ej. DT200 - Posibilidad de versiones para sala blanca ISO 14644-1 - Uso inmediato con controlador preconfigurado incl. software de ejemplo