- Mecánica - Transmisión de potencia
- Actuador y Posicionamiento
- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal LA92con motor lineal1 ejede rodillos cruzados
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- con motor lineal
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, aluminio, para microscopio, industrial, compatible de vacío, automática, de manipulación de obleas, de rodillos cruzados
- Carrera
Máx.: 40 mm
(1,575 in)Mín.: 1 mm
(0,039 in)- Velocidad
Máx.: 200 mm/s
Mín.: 1 mm/s
- Repetibilidad
Máx.: 5 µm
Mín.: 0,3 µm
- Carga
Máx.: 1,9 kg
(4,19 lb)Mín.: 0,9 kg
(1,98 lb)
Descripción
LA92
Eje lineal UHV de alta velocidad
Aplicación: Aplicaciones de alta resolución y escaneado rápido
Ventajas: Posicionamiento rápido en UHV, también en vertical
Características: Resolución excepcional, muy delgada, con motor interno
- Vacío: todas las áreas HV / UHV hasta 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético | poco magnético | sin imanes
- Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Temperatura máx. de horneado 120°C
Opciones:
- Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Puede combinarse con un sistema de transferencia XYZ (por ejemplo, LA90, LA95, LA170)
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Opcional con controlador de movimiento FMC400/450
Datos técnicos
- Recorrido: 40 mm
- Repetibilidad
± 0,3 µm (unidireccional)
± 0,4 µm (bidireccional
- Carga: → 19 N / ↑ 9 N
- Velocidad máx. Velocidad: 200 mm/s
- Motor: Nanomotion
- Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbridos, cerámica completa opcional
- Retroalimentación: Escala lineal
- Resolución de retroalimentación: 0.005 µm - 0,1 µm
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