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- Platina de posicionamiento lineal
- Steinmeyer Holding GmbH
Platina de posicionamiento lineal HDT255eléctrica1 ejede rodillos cruzados
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Características
- Orientación
- lineal
- Tipo
- eléctrica
- Número de ejes
- 1 eje
- Otras características
- de precisión, aluminio, industrial, compatible de vacío, de manipulación de obleas, en lazo abierto, de rodillos cruzados
- Carrera
Máx.: 16 mm
(0,63 in)Mín.: 1 mm
(0,039 in)- Velocidad
Máx.: 16,6 mm/s
Mín.: 1 mm/s
- Repetibilidad
Máx.: 5 µm
Mín.: 0,7 µm
- Carga
Máx.: 9,8 kg
(21,61 lb)Mín.: 0,5 kg
(1,1 lb)
Descripción
HDT255
Mesa elevadora de gran apertura de carga
Aplicación: mesa elevadora de vacío
Ventaja: - alta rigidez y carga, apertura
Características: plataforma de cuña con apertura
- Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar
- Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético
- Máx. Temperatura de horneado 120°C
Opciones:
- Con o sin apertura
- Diferentes recorridos-
- Opcionalmente con y sin sistema de medición
- Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)
- Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación
- Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara
- Opcionalmente con controlador FMC400/450
Datos técnicos:
- Recorrido: 16 mm
- Repetibilidad
± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidireccional)
± 4 µm, ± 1 µm (bidireccional)
- Carga: 98 N
- Velocidad máx. Velocidad: 16,6 mm/s
- Motor: Motor paso a paso
- Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbrido
- Retroalimentación: Escala lineal
- Resolución de realimentación 0.1 µm
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