Platina de posicionamiento lineal KDT120

piezoeléctrica2 ejesde rodillos cruzados

KDT120-20 Platina XY de alta resolución Aplicación: platina XY de vacío Ventaja: rápida y alta resolución Características: parámetros de guiñada y cabeceo tres veces mejores que la variante con abertura - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Lubricación: líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético / poco magnético / sin imán - Máx. Temperatura de horneado 120°C Opciones: - Con y sin apertura - Disponible en versión magnética, de bajo contenido magnético y sin imanes - Diferentes variantes de motor: Nanomotion o motor piezoeléctrico - Combinable con sistema de posicionamiento XYZ (p. ej. MT105) - Combinable con platinas giratorias (p. ej. DT105) para aplicaciones giratorias - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 24 mm - Repetibilidad: - ± 0,03 µm (unidireccional) - ± 0,05 µm (bidireccional) - Carga: → 5 N / ↑ 45 N - Velocidad máx. Velocidad: - 5 mm/s - Motor: Motor piezoeléctrico - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados acero inoxidable, híbrido, opcional cerámica completa - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de realimentación: 0.005 µm - 0,1µm