Platina de posicionamiento lineal KDT300

eléctrica2 ejesde rodillos cruzados

KDT300 Etapa xy estable de alta carga Aplicación: etapa de transporte , etapa de exploración para cargas elevadas Ventaja: - larga vida útil a pesar de lubricación seca Características: larga vida útil a pesar de lubricación en seco - Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 - Líquido lubricante hasta 10E-11 - Apertura: 80 x 80 mm - Máx. Temperatura de horneado:120°C Opciones: - Con y sin sistema de medición - Opcionalmente con controlador FMC400/450 - Recorridos de hasta 80 mm para cargas de hasta 10 kg - Opcionalmente con accionamiento por husillo o husillo de bolas lubricado para mayores velocidades - Combinable con mesas giratorias (p. ej. DT155) para aplicaciones giratorias - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Diseño para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) Datos técnicos: - Recorrido: 10 mm, 50 mm, 10 mm - Repetibilidad: - ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidireccional) ± 0,5 µm, ± 4 µm (bidireccional - Carga: → 44 N / ↑ 120 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento:Rodillo cruzado de acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: Lazo abierto, escala lineal - Resolución de realimentación: 0.1 µm