Reja

Resumen
Agujeros micro a través cuadrados sin radios de esquina (R=0) que permiten patrones de paso estrecho y pequeño diámetro anteriormente impracticables.

Características

• Agujeros micro a través de alta densidad
  • Ejemplo: hasta 150.000 agujeros de 0,1×0,1 mm en una oblea de 3 pulgadas
• Agujeros atravesantes de alta relación de aspecto (hasta 1:10)
  • Rango típico 1:8–1:10; se ofrecen secciones rectas o cónicas
• Minimización de astillado
  • Mejora el contacto para el unión anodica con Si

Opciones

• Metalización de paredes laterales
  • Reduce la interferencia óptica o la absorción entre los agujeros
• Geometría de cavidad seleccionable

Especificaciones estándar
Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
Tamaño del vidrio: ≦φ150 mm
Espesor mín.: 0,25 mm
Tolerancia de espesor: ±0,01 mm
Tamaño mín. de agujero: □0,07 mm
Tolerancia de tamaño de agujero: ±0,02 mm
Relación de aspecto máx.: 1 : 10
Control de partículas: Disponible
Forma de sección: Recta / Cónica

Características / especificaciones técnicas

• Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
• Tamaño del vidrio: ≦φ150 mm
• Espesor mínimo: 0,25 mm; tolerancia ±0,01 mm
• Tamaño mínimo de agujero: cuadrado 0,07 mm; tolerancia ±0,02 mm
• Relación de aspecto máxima: hasta 1 : 10 (típ. 1:8–1:10)
• Sección transversal: agujeros rectos o cónicos
• Microagujeros de alta densidad: p. ej. 150.000 agujeros de 0,1×0,1 mm en una oblea de 3 pulgadas
• Metalización de paredes laterales disponible para controlar interferencia/absorción óptica
• Control de partículas y manipulación en sala blanca disponibles
• Astillado minimizado para mejorar el rendimiento de la unión anódica