Estación de sondeo magnética DX1PS3

manual

La estación de sondeo a nivel de oblea con campo magnético en el plano es una plataforma de ensayo a escala de oblea diseñada para aplicar campos magnéticos controlados en el plano y permitir la caracterización eléctrica a nivel de oblea. Proporciona monitorización del campo magnético en tiempo real y una plataforma de sondas versátil para mediciones DC y RF.

Características clave

• Aplica campos magnéticos controlados en el plano para sondeos a nivel de oblea con un diseño estructural universal (imán excluido).
• Monitorización y retroalimentación en tiempo real del campo magnético para condiciones de medición estables.
• Admite varios tipos de sondas (DC y microondas) y una plataforma de elevación rápida en eje Z para mejorar la eficiencia de las pruebas.
• Diseñada para la compatibilidad con flujos de trabajo de prueba a nivel de oblea y múltiples conjuntos de sondas para mediciones flexibles.

Especificaciones técnicas

• Modelo: DX1PS3
• Dirección del campo magnético: En el plano
• Intensidad del campo magnético: Campo en el plano >330 mT
• Espacio de aire ajustable: No
• Tamaño de muestra: Oblea de 12 pulgadas (compatible hacia atrás con prueba de fragmentación)
• Tipo y cantidad de sondas: Sondas DC (conjunto de 4) o sondas de microondas (conjunto de 4)
• Parámetros de la platina: Desplazamiento XY con control eléctrico ±150 mm, precisión de ajuste 2 μm; ajuste manual del eje T ±5°, precisión mínima de ajuste 5°
• Tipo de microscopio: Microscopio monocular
• Uniformidad del campo magnético: ±1% @ φ1 mm (diseño estructural versátil, imán excluido)
• Monitorización del campo magnético: En tiempo real con precisión de monitorización <1% y resolución de campo <0.02 mT
• Compatibilidad: Acepta obleas de hasta 12 pulgadas y es retrocompatible con chips de 8 y 6 pulgadas
• Plataforma de sondas: Plataforma de sondas en eje Z con función de elevación rápida (manual por defecto; puede actualizarse a control eléctrico)