ResumenLa estación de sondas de campo magnético serie DX proporciona entornos de campo magnético controlado y temperatura variable para la caracterización eléctrica y magnética de semiconductores, dispositivos micro/nano, materiales magnéticos y dispositivos espintrónicos. Los sistemas admiten mediciones DC y RF de alta precisión y se ofrecen en configuraciones modulares adecuadas para laboratorios de investigación y entornos de producción.
Modelos disponibles y parámetros principales- DX1PS1 — Estación unidimensional de campo en‑plano
- Campo en‑plano: máx. 0,5 T @ 3 cm de separación de polos; 1 T @ 1,5 cm.
- Incluye fuente bipolar y software de control de campo magnético.
- Opciones de sonda: base DC + 2 pares de sondas, o base RF + 1 par; base de sonda móvil en tres dimensiones.
- Etapa de traslación 4D de alta precisión (X‑Y‑Z + rotación), microscopio estereoscópico o metalográfico 200× con cámara CCD.
- DX1PS2 — Estación unidimensional de campo vertical
- Campo vertical: hasta 1,2 T.
- Incluye fuente bipolar y software de control.
- Opciones de sonda: base DC + 2 pares, o base RF + 1 par; base móvil en 3D.
- Etapa de traslación 4D (X‑Y‑Z + rotación 90°), microscopio metalográfico 200× con cámara CCD.
- DX2PS1 — Estación bidimensional X‑Y
- Campo vectorial 2D en plano X‑Y: máx. 0,4 T @ 2 cm; 0,6 T @ 1 cm; 0,8 T @ 0,6 cm.
- Incluye fuente bipolar y software de control; velocidad de muestreo del campo hasta 5 Hz.
- Opciones de sonda: base DC + 2 pares, o base RF + 1 par; base móvil en 3D.
- Etapa de traslación 4D (X‑Y‑Z + rotación), microscopio metalográfico o estereoscópico 200× con cámara CCD.
- DX2PS2 — Estación bidimensional X‑Z
- Campo vectorial 2D en plano X‑Z (en‑plano + vertical).
- En‑plano: máx. 0,4 T @ 2 cm; 0,6 T @ 1 cm. Vertical: máx. 0,6 T.
- Incluye fuente bipolar y software de control; velocidad de muestreo hasta 5 Hz.
- Opciones de sonda: base DC + 2 pares, o base RF + 1 par; base móvil en 3D.
- Etapa de traslación 4D (X‑Y‑Z + rotación 90°), microscopio metalográfico 200× con cámara CCD.
- DX3PS — Estación tridimensional
- Campo vectorial 3D X‑Y‑Z: intensidad máxima en cualquier dirección 0,5 T.
- Incluye fuente bipolar y software de control; velocidad de muestreo hasta 5 Hz.
- Opciones de sonda: base DC + 2 pares, o base RF + 1 par; base móvil en 3D.
- Etapa de traslación 3D de alta precisión (X‑Y‑Z), microscopio metalográfico 200× con cámara CCD.
- DX1PS3 — Estación automática en‑plano para nivel wafer DX1PS3
- Estación automática a nivel wafer para ensayos eléctricos y magnéticos; proporciona un campo unidimensional en‑plano de ~330 mT y admite mediciones DC/RF de alta precisión.
Especificaciones técnicas- Aplicaciones: industria de semiconductores, MEMS, superconductividad, electrónica, ferroeléctricos, física y ciencia de materiales.
- Fuente bipolar y software dedicado de control de campo magnético (control y supervisión en tiempo real).
- Configuraciones de sondas: base DC con dos pares de sondas o base RF con un par; base de sondas móvil 3D para posicionamiento preciso.
- Etapas de traslación: etapas multi‑eje de alta precisión (X‑Y‑Z con rotación o etapas 3D) para posicionamiento submilimétrico y alineación por rotación.
- Inspección óptica: microscopios estereoscópicos o metalográficos 200× con integración de cámara CCD para observación e imagen de muestras.
- Rendimiento de campo magnético: intensidades máximas dependientes del modelo (ver ítems por modelo). Las unidades a nivel wafer apuntan a uniformidad (±1% @ Ø1 mm) y precisión de monitorización mejor del 1% con resolución < 0,02 mT para modelos específicos.
- Escaneado de campo magnético: modelos seleccionados soportan escaneado rápido hasta 5 Hz para mediciones dinámicas.
- Modularidad y escalabilidad: sistemas diseñados para ampliaciones y personalización (diferentes tipos de imanes y opciones de accesorios disponibles).
Sondas, medición y control- Software integrado para ajuste de campo, monitorización en tiempo real y registro de datos.
- Soporte para sondas DC y RF y compatibilidad con tarjetas de sondas y equipos de medida habituales en semiconductores.
- Posicionamiento y rotación de alta precisión para contacto reproducible y alineación en caracterizaciones eléctricas.
Aplicaciones e industrias- Investigación universitaria y en institutos, I+D en semiconductores y pruebas de producción, espintrónica y caracterización de materiales magnéticos.
- Adecuado para desarrollo de dispositivos, pruebas a nivel wafer y mediciones dinámicas dependientes del campo.