Estación de sondeo magnética DX1PS4

manual

Descripción general

La estación de sondeo de campo magnético vertical a nivel de oblea está diseñada para la caracterización magnética y las pruebas de dispositivos a nivel de oblea. Admite obleas de hasta 12 pulgadas, varios tipos de sondas (DC o microondas) y proporciona monitorización precisa del campo magnético con un flujo de pruebas eficiente.

Especificaciones técnicas

• Dirección del campo magnético: Vertical
• Intensidad del campo magnético: Campo magnético vertical >700 mT
• Espacio de aire ajustable: No
• Tamaño de muestra: Oblea 12 pulgadas (retrocompatible con 8 pulgadas, 6 pulgadas y fragmentos)
• Tipo y cantidad de sondas: Sondas DC (conjunto de 4) o sondas microondas (conjunto de 4); compatible con hasta 4 conjuntos de sondas (RF o DC)
• Parámetros de la platina: Recorrido eléctrico XY ±150 mm, precisión de ajuste 2 μm; ajuste manual en eje T ±5°, precisión mínima de ajuste 5°
• Tipo de microscopio: Microscopio monocular
• Uniformidad del campo magnético: ±1% @ φ1 mm (estructura diseñada de forma universal excepto el imán)
• Monitorización del campo magnético: Monitorización y retroalimentación en tiempo real; precisión de monitorización mejor que 1%; resolución del campo mejor que 0,02 mT
• Plataforma de sonda en Z: Función de elevación rápida para pruebas eficientes; elevación manual que puede actualizarse a control eléctrico

Compatibilidad y sondas

Admite conjuntos de sondas DC y microondas, hasta cuatro conjuntos simultáneos para mediciones en paralelo. La selección y disposición de sondas es compatible con tarjetas de sondas y accesorios estándar de oblea.

Aplicaciones típicas

• Caracterización magnética a nivel de oblea
• Pruebas y calibración de sensores MR
• Evaluación de dispositivos spintrónicos
• I+D y verificación de procesos de producción para dispositivos magnéticos

Ventajas operativas

La retroalimentación en tiempo real del campo magnético y la monitorización de alta resolución aseguran mediciones repetibles. El recorrido XY y los ajustes finos permiten una colocación precisa de las sondas a escala de oblea, mientras que el levantamiento rápido del eje Z mejora el rendimiento de las pruebas.

Opciones y pedidos

Opciones disponibles: actualización a eje Z motorizado, mejoras de microscopio, servicios de calibración de campo y accesorios de oblea personalizados. Contacte con ventas para configuración y plazos.