Estación de sondeo automática DX1PS3

de vacíomagnética

Descripción general

La estación de sondas DX1PS3 a nivel wafer para campo magnético en plano está diseñada para la caracterización eléctrica y magnética de materiales semiconductores, dispositivos micro‑nano y dispositivos espintrónicos. Proporciona un campo magnético unidimensional en plano de hasta 330 mT (a 10 mm de hueco de aire) y admite mediciones eléctricas DC/RF de alta precisión.

Introducción de parámetros

• Modelo: DX1PS3
• Dirección del campo magnético: en plano (X)
• Intensidad del campo: ≥ 330 mT @ 10 mm hueco de aire
• Hueco de aire ajustable: No
• Tamaño de muestra: oblea 12" (compatible con 8" y 6")
• Tipo y cantidad de sondas: sondas DC (conjunto de 4) o sondas microondas (conjunto de 4)
• Portamuestras: recorrido XY control eléctrico ±150 mm, precisión 2 μm; eje T manual ±5°, precisión mínima 5′
• Tipo de microscopio: monocular

Descripción del producto

• Soporta pruebas de campo magnético en plano con diseño modular (imán intercambiable); uniformidad del campo ±1% @ 1 mm.
• Monitorización y retroalimentación en tiempo real del campo magnético con precisión <1% y resolución <0.02 mT.
• Acepta obleas de hasta 12" y es compatible con muestras de 8" y 6".
• Admite hasta 4 conjuntos de sondas (RF o DC) y ofrece plataforma de sondas en eje Z con elevación rápida para mejorar el rendimiento de pruebas.
• Diseño preparado para integración con sonda Hall, gaussímetro y soporte de ajuste del microscopio.

Configuración específica (resumen)

• Unidad principal: estación DX1PS3 a nivel wafer para campo magnético en plano
• Electroimán unidimensional in‑plane (1 ud): dirección X, ≥330 mT @ 10 mm hueco de aire, zona uniforme ±1% @ 1 mm, resolución 0.02 mT
• Fuente de alimentación / corriente 400 W (1 ud): salida bipolar continua, operación en cuatro cuadrantes, tasa de cambio configurable (0.00001 a 0.5 F.S./s, F.S.=5 A), entrada AC monofásica 220 V ±10%
• Portamuestras (1 ud): recorrido X/Y ±150 mm, resolución 2 μm; eje T manual ±5° (sensibilidad ≈5′); diámetro del portamuestras 10 pulgadas, sujeción por vacío
• Sujetaproyectos / fixture de sonda (4 uds): base con conmutador de vacío; recorrido fino XY ±6 mm; resolución de ajuste ±1 μm; inclinación 30°; incluye sondas DC (conjunto típico de 4), fuga ≤10 pA, corriente máx 1 A, tensión soportada 700 V, frecuencia máx 1 MHz; cables coaxiales ≥1.5 m, conectores BNC macho
• Ordenador de control (1 ud): Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, pantalla 23.8"
• Bomba de vacío sin aceite (1 ud): funcionamiento 24 h, flujo ≥ 7 L/min
• Microscopio monocular (1 ud): iluminación coaxial, distancia de trabajo ≥ 80 mm; cámara 5 MP, 30 fps, USB2.0; aumento 0.75X–5X, zoom continuo
• Mesa de flotación por aire (1 ud): tamaño ≥ 800 × 1200 mm; incluye compresor
• Integración de la estructura: canales de vacío ocultos, dispositivo Z manual resolución 10 μm, sin deriva bajo campo magnético máximo
• Chiller (1 ud): 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, depósito 10 L, control de temperatura ±1 °C

Interfaz de prueba

• Interfaz dedicada para medidas de magnetorresistencia (esquema en la página del producto)

Especificaciones técnicas

• Modelo: DX1PS3
• Dirección del campo: en plano (X)
• Intensidad del campo: ≥ 330 mT @ 10 mm hueco de aire
• Uniformidad del campo: ±1% @ 1 mm
• Monitorización del campo: precisión <1%; resolución <0.02 mT
• Compatibilidad de muestra: oblea 12" (compatible con 8" y 6")
• Recorrido XY (plateau): ±150 mm, precisión 2 μm
• Eje T: manual ±5°, precisión mínima 5′
• Capacidad de sondas: hasta 4 conjuntos (RF o DC); conjunto típico: 4 sondas
• Resolución del soporte de sonda: ±1 μm; recorrido fino XY ±6 mm
• Fuente/convertidor: 400 W, salida bipolar cuatro cuadrantes, corriente máx 5 A
• Plataforma Z: manual (ampliable a motorizada)
• Microscopio: monocular, distancia de trabajo ≥ 80 mm, cámara 5 MP, 30 fps, zoom 0.75X–5X
• Bomba de vacío: sin aceite, operación continua, flujo ≥ 7 L/min
• Mesa de flotación de aire: ≥ 800 × 1200 mm
• Chiller: 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, depósito 10 L, ±1 °C
• PC de control: Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, pantalla 23.8"