Placa de cerámica

de anillode nitruro de borode aislamiento

El nitruro de boro hexagonal prensado en caliente suele denominarse "grafito blanco", ya que tiene una estructura de capas similar a la del grafito. Tiene unas características térmicas excepcionales: alta conductividad térmica y excelente resistencia al choque térmico. Es estable hasta 2000 °C en atmósferas reductoras y hasta 900 °C en atmósferas oxidantes. Presenta características como alta maquinabilidad, baja dilatación térmica, transparencia a las microondas y alta resistencia en húmedo a metales fundidos, escorias y vidrio. Las piezas cerámicas de nitruro de boro se utilizan ampliamente como PVD, MOCVD, sistema MBE, componentes de hornos, crisoles de fusión, aislantes, arandelas, boquillas, tubos de microondas, disipadores de calor y blindaje contra la radiación térmica. Un reactor MOCVD es una cámara fabricada con un material que no reacciona con los productos químicos utilizados. También debe soportar altas temperaturas. Esta cámara está compuesta por las paredes del reactor, un revestimiento, un susceptor, unidades de inyección de gas y unidades de control de temperatura. En el reactor MOCVD, el sustrato se apoya en un pedestal, que también actúa como susceptor. El pedestal/susceptor es el principal origen de la energía térmica en la cámara de reacción. Sólo se calienta el susceptor, por lo que los gases no reaccionan antes de llegar a la superficie caliente de la oblea. Las paredes de la cámara de reacción en un reactor de pared fría, sin embargo, pueden calentarse indirectamente por el calor que irradia el pedestal/susceptor caliente, pero permanecerán más frías que el pedestal/susceptor y el sustrato que soporta el pedestal/susceptor. Así pues, el nitruro de boro es una buena elección porque la densidad de potencia, la temperatura de funcionamiento, el grado de aislamiento y la rigidez dieléctrica de los elementos calefactores pueden mejorarse considerablemente utilizando nitruro de boro como aislante.