Platinas de posicionamiento de manipulación de obleas

Carrera: 1 mm - 40 mm
Velocidad: 1 mm/s - 200 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... LA92 Eje lineal UHV de alta velocidad Aplicación: Aplicaciones de alta resolución y escaneado rápido Ventajas: Posicionamiento rápido en UHV, también en vertical Características: Resolución excepcional, muy delgada, ...

Carrera: 1 mm - 100 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... LT300 Etapa lineal precisa de alta carga Aplicación: Etapa de transporte, etapa de exploración para cargas elevadas Ventaja: larga vida útil a pesar de la lubricación en seco Características: husillo con lubricación seca o husillo de ...

Carrera: 1 mm - 300 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Etapa lineal nanométrica Aplicación: escaneado Ventaja: posicionamiento nanométrico, también en vertical Características: posicionamiento con resolución extrema y máxima rigidez puede equiparse ...

Carrera: 1 mm - 185 mm
Velocidad: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... LA95 - Aplicación: etapa de transporte, etapa de escaneado - Ventaja: larga vida útil a pesar de la lubricación en seco - Características: husillo con lubricación seca o husillo de bolas con lubricación líquida - Vacío: ...

Carrera: 1 mm - 10 mm
Velocidad: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,2 µm - 5 µm

... Microplatina de alta resolución Aplicación: microplatina multiuso Ventaja: para escaneado de alta resolución Características: posicionamiento con muy alta resolución - Vacío: todos los rangos de presión HV /UHV hasta ...

Carrera: 1 mm - 50 mm
Velocidad: 1 mm/s - 50 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... KT105-50 Platina XY de alta resolución Aplicación: platina XY de vacío Ventaja: rápida y alta resolución Características: parámetros de guiñada y cabeceo tres veces mejores que la variante con apertur ...

Carrera: 1 mm - 100 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... KDT300 Etapa xy estable de alta carga Aplicación: etapa de transporte , etapa de exploración para cargas elevadas Ventaja: - larga vida útil a pesar de lubricación seca Características: larga vida útil a pesar de lubricación en seco - ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Repetibilidad: 1 µm - 5 µm

... HT160 Etapa precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Repetibilidad: 0,7 µm - 5 µm

... HDT255 Mesa elevadora de gran apertura de carga Aplicación: mesa elevadora de vacío Ventaja: - alta rigidez y carga, apertura Características: plataforma de cuña con apertura - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - ...

Carrera: 1 mm - 25 mm
Velocidad: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... HT240 Etapa precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: Plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10-11 mbar - ...

Carrera: 500 mm - 8.000 mm
Velocidad: 500 mm/s - 3.000 mm/s
Repetibilidad: 0,02 mm

... Etapa de pórtico lineal Sistema de posicionamiento XYZ Módulo de husillo de bolas de alta velocidad Guía de carril de carrera larga El cliente señaló que el equipo de pruebas debe tener una estructura estable y precisa. ...

Carrera: 10 mm
Velocidad: 200 mm/s

... perfil bajo para el manejo de obleas y muchas otras aplicaciones de posicionamiento preciso automatizado en las industrias de fabricación de semiconductores. El motor lineal de accionamiento XY proporciona ...

Carrera: 200 mm
Velocidad: 400, 800 mm/s

Carrera: 280 mm
Velocidad: 400, 800 mm/s

Carrera: 350 mm
Velocidad: 800, 400 mm/s

Carrera: 30, 50, 100 mm
Velocidad: 5, 50 mm/s

... elevadas - Diferentes variantes de motor: Nanomotion, motor piezoeléctrico o motor lineal - Combinable con el sistema de posicionamiento XYZ - Combinable con mesas giratorias (por ejemplo, DT105) para aplicaciones giratorias - ...

Carrera: 100, 50 mm
Velocidad: 5 mm/s
Repetibilidad: 0,5 µm - 4 µm

... elevadas de hasta 10 kg La platina lineal está diseñada para posicionar cargas con alta rigidez en condiciones extremas, como en alto vacío y ultra alto vacío. Equipado con un freno de pinza piezoeléctrico, este sistema ...

Carrera: 60, 130 mm
Velocidad: 5 mm/s
Repetibilidad: 0,5 µm - 4 µm

... simultáneamente. Permite un posicionamiento muy fino con cargas elevadas en ultravacío, incluso en dirección vertical. Áreas de aplicación Configuración de sistemas multieje, automatización de procesos, escaneo 3D, escaneo ...

Carrera: 25 mm
Velocidad: 1,7 mm/s

... comparativamente altas. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en la industria y la investigación en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación de obleas, inspección ...

Carrera: 16 mm
Velocidad: 1,1 mm/s

... cargas comparativamente altas. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en la industria y la investigación en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación de obleas, alineación ...