Magnetrón pulsado

a medidalineal

Los magnetrones lineales de Angstrom Sciences incorporan nuestros imanes de tierras raras NdFeB perfilados, totalmente encapsulados y patentados, que distribuyen el campo por toda la superficie del blanco, lo que aumenta la utilización del mismo y minimiza la contaminación por partículas procedentes de su superficie. Todos nuestros cátodos de pulverización catódica por magnetrón incorporan además un flujo de agua turbulento para proporcionar una transferencia térmica óptima y minimizar la falta de uniformidad debida a los puntos calientes en la superficie del blanco. Estas características, junto con otras como las entradas integradas de gas de proceso, las paredes sólidas del ánodo y el uso de materiales de última generación, garantizan un rendimiento y una fiabilidad sin igual para su proceso de pulverización catódica. A medida que más sectores descubren la velocidad, la capacidad de control y las ventajas económicas de la pulverización catódica por magnetrón, Angstrom Sciences está desarrollando herramientas para maximizar el rendimiento de estos procesos de fabricación más grandes y rápidos. Soluciones a mayor escala Para quienes necesitan recubrir sustratos extremadamente anchos o deben alcanzar un rendimiento extremadamente alto, los magnetrones lineales ofrecen la solución en línea perfecta. Compatibilidad total de potencia Los cabezales de baja impedancia ofrecen compatibilidad con potencia de RF, CC, CC de media frecuencia, CC pulsada, HiPIMS y microondas. Accesorios estándar Para el montaje, podemos utilizar accesorios estándar ISO NW, bridas con junta metálica Conflat® o bridas personalizadas selladas con junta tórica. Todas las conexiones de servicios se mantienen normalmente a presión atmosférica y se accede a ellas a través de racores de compresión estándar con junta tórica, lo que facilita su instalación en cualquier sistema de vacío. Rendimiento probado Estos magnetrones ofrecen el rendimiento sin igual que ha convertido a Angstrom Sciences en el referente del sector.