Magnetrón pulsado

a medidatubulares

Los magnetrones circulares de Angstrom Sciences se han consolidado como el estándar del sector del pulverizado catódico gracias a la «Angstrom Advantage™» y a una gran variedad de características de diseño que ofrecen posibilidades casi ilimitadas en cuanto a configuración y rendimiento del proceso. Diseño versátil y compacto Su diseño compacto hace que nuestros magnetrones circulares sean ideales para cualquier aplicación nueva o de modernización, incluidos los conjuntos en racimo más complejos para las cámaras de vacío más pequeñas. Compatibilidad total de potencia Los cabezales de baja impedancia ofrecen compatibilidad con potencia de RF, CC, CC de media frecuencia, CC pulsada, HiPIMS y microondas. Accesorios estándar Utilizamos accesorios estándar ISO NW, así como bridas con junta metálica Conflat®. Todas las conexiones de servicios se mantienen a presión atmosférica y se accede a ellas a través de racores de compresión con junta tórica estándar para facilitar la instalación en cualquier sistema de vacío. Amplia gama de tamaños Las fuentes de magnetrón circulares están disponibles con diámetros de blanco desde 1″ (25 mm) hasta 16″ (406 mm) y superiores, tanto en configuraciones estándar como a medida. Cambio rápido y sencillo del blanco Nuestra abrazadera roscada patentada para el blanco y el protector del ánodo en nuestros cátodos circulares pequeños permiten cambiar los blancos sin necesidad de herramientas auxiliares. Su capacidad de ajuste integrada también permite acoplar blancos de distintos espesores sin necesidad de utilizar dispositivos espaciadores. Baja presión, alta potencia Los magnetrones ONYX® pueden funcionar a presiones extremadamente bajas (hasta el rango de 10⁻⁴ Torr), y nuestros diseños de refrigeración directa pueden ofrecer densidades de potencia de hasta 250 vatios/pulgada cuadrada (30 vatios/cm²) en funcionamiento continuo.