Magnetrón pulsado

tubulares

Los magnetrones de refrigeración indirecta incorporan una pared intermedia entre el agua de refrigeración del cátodo circular y el cátodo de pulverización catódica. Esta pared crea un sello permanente entre el agua y el vacío que evita las fugas que podrían producirse si se "pulverizara" un blanco Los magnetrones circulares de refrigeración indirecta de 1″- 4″ (25 mm-100 mm) de Angstrom Sciences incorporan una abrazadera de objetivo roscada y un escudo de ánodo que se ajustan a los objetivos de sputtering de diferentes grosores. Los cambios de blanco en el diseño roscado son rápidos y sencillos, y no requieren herramientas ni dispositivos auxiliares. Además, la abrazadera roscada del cátodo y el escudo del ánodo crean un cabezal de magnetrón circular compacto. Esto permite que los magnetrones circulares de Angstrom Sciences quepan en cámaras de vacío confinadas y que pulvericen un sustrato mayor en comparación con su superficie que los magnetrones convencionales. Los magnetrones de refrigeración indirecta se recomiendan para aplicaciones de baja potencia y son una opción ideal para aplicaciones de investigación y desarrollo. Para obtener más información sobre los magnetrones de refrigeración indirecta, llámenos al 412-469-8466 o póngase en contacto con nosotros en línea.