Magnetrón pulsado

tubulares

Los magnetrones de refrigeración indirecta incorporan una pared intermedia entre el agua de refrigeración del cátodo circular y el blanco de pulverización. Esta pared crea un sellado permanente entre el agua y el vacío, lo que evita las fugas que podrían producirse si se «pulverizara a través» del blanco. Los magnetrones circulares de refrigeración indirecta de Angstrom Sciences, de 1″ a 4″ (25 mm a 100 mm), incorporan una abrazadera roscada para el blanco y un protector del ánodo que se ajustan a blancos de pulverización de distintos espesores. El cambio de blanco en el diseño roscado es rápido y sencillo, y no requiere herramientas ni dispositivos auxiliares. Además, la abrazadera roscada para el blanco y el protector del ánodo crean un cabezal de magnetrón circular compacto. Esto permite que los magnetrones circulares de Angstrom Sciences quepan en cámaras de vacío de espacio reducido y pulvericen un sustrato más grande, en comparación con su superficie, que los magnetrones convencionales. Los magnetrones de refrigeración indirecta se recomiendan para aplicaciones de baja potencia y son una opción ideal para aplicaciones de investigación y desarrollo.