Magnetrón plano

cilíndrico

Angstrom Sciences es conocida internacionalmente por la tecnología de vanguardia que aportamos a las aplicaciones de pulverización catódica por magnetrón. Ahora, hemos desarrollado un método para adaptar sus magnetrones cilíndricos actuales con nuestro diseño patentado de imanes perfilados, lo que permite incorporar la «Angstrom Advantage™» a su proceso. Solución económica La adaptación con imanes cilíndricos ofrece todas las ventajas mencionadas anteriormente por aproximadamente un tercio del coste que supondría sustituir su conjunto cilíndrico actual. •Imanes totalmente encapsulados en acero inoxidable > •Flujo de agua de alta eficiencia •Compatible con todos los diseños de blancos existentes •Integración perfecta •Uniformidad ajustable •Un tiempo de respuesta avanzado permite obtener perfiles de erosión más uniformes •El perfil de deposición mejorado reduce la acumulación de residuos en las paredes de la cámara •Una mayor intensidad de campo permite alcanzar la tasa de deposición habitual con niveles de potencia más bajos