Sistema de posicionamiento módulos combinados ZT

XYverticalpara inspección de obleas y metrología

La caja ZT es un módulo con dos grados de libertad, en Z y Theta, en una sola unidad. Hay dos actuaciones posibles sobre la dirección Z, una amplia y una fina. Se puede utilizar de forma separada o montada sobre una plataforma XY. Este módulo es especialmente apropiado para aplicaciones de control de proceso de obleas tales como metrología de capa fina, dimensiones críticas, etc. Características - Giro infinito - Suministro de vacío integrado a nivel de mordaza - Compensador de gravedad integrado - Compatible con salas limpias ISO1 gracias a succión por vacío - Eje Z con amplio recorrido de 12 mm para carga/descarga y recorrido fino de 4 mm para ajuste de foco - Versión sin Z amplio posible - Muy buen jitter Z, así como desplazamiento y fijación de posición Principales prestaciones - Repetitividad bidireccional ±0,3 µm para Z y ±2 arcsec para T - Precisión en posición: ±0,6 µm para Z y ±30 arcsec para T - Velocidad hasta: 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T - Aceleración hasta: 0,2 g para Z y 104,7 rad/s² para T - Estabilidad en posición: ±5 nm para Z y ±0,2 arcsec para T - Capacidad de carga: 1 kg