Sistema de posicionamiento módulos combinados Z3TM

XYpara la industria de los semiconductores

El Z3TM está ampliando la cartera de módulos que sirven a las plataformas de movimiento. Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, a lo largo de un eje rotativo, uno vertical y dos oblicuos. Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de las obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los fabricantes de equipos originales una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores. La compacidad del producto establece una densidad récord en términos de número de funciones por volumen, mientras que su rendimiento establece nuevas normas de mercado en cuanto a la precisión y la dinámica del nivel de las obleas. El Z3TM permite a los fabricantes de equipos originales migrar de soluciones piezoeléctricas caras y obsoletas, eliminando sus problemas de histéresis al tiempo que soporta una resolución, precisión y repetibilidad a nivel nanométrico, a una dinámica aún mayor. Con el apoyo incorporado para la alineación adecuada de la muestra, el módulo permite entonces un mayor control de la planitud de las obleas, con respecto a las cabezas de los equipos, mediante sus ejes adicionales de "punta" e "inclinación". Esta funcionalidad única permite a los usuarios con un nivel siguiente de controles de proceso, por ejemplo, la planitud, el ángulo de incidencia nominal (AOI), la rectitud del plano focal y muchos más, todo lo cual da lugar a una oportunidad sin precedentes para obtener un rendimiento de nivel de oblea mediante la técnica de OEM. Hoy en día los adoptantes no sólo simplifican sus esfuerzos de diseño para lograr una mayor precisión, sino que además materializan reducciones drásticas en la complejidad del equipo, la fiabilidad, los esfuerzos de integración y el costo general, lo que permite una comercialización mucho más rápida con una mejor relación precio-rendimiento.