Soldadora de obleas automatizada EVG®520 IS

La unidad de una cámara EVG520 IS maneja obleas de hasta 200 mm con funcionamiento semiautomático para aplicaciones de producción de pequeño volumen. Rediseñado sobre la base de los comentarios de los clientes y de las continuas innovaciones tecnológicas de EV Group, el EVG520 IS presenta el diseño simétrico y simétrico del portabrocas de calentamiento y enfriamiento rápido de EV Group. Ventajas como el calentador independiente en la parte superior e inferior, la capacidad de adhesión a alta presión y la misma flexibilidad de materiales y procesos que en los sistemas manuales contribuyen al éxito de todos los procesos de adhesión de obleas. Características Procesamiento totalmente automatizado con carga y descarga manual, incluida la estación de enfriamiento externa Compatible con los alineadores mecánicos y ópticos EVG Automatización de una o dos cámaras Ejecución totalmente automatizada del proceso de fianzas y movimientos de la cobertura de fianzas Estación de refrigeración integrada para un alto rendimiento Opciones: Capacidad de alto vacío (1E-6 mbar) Controlador de flujo másico programable Refrigeración integrada Datos técnicos Fuerza máxima de contacto 10, 20, 60, 100 kN Tamaño del calentador150 mm200 mm Dimensiones mínimas del sustrato - virutas de 100 mm Vacío Estándar: 1E-5 mbar Opcional: 1E-6 mbar