Soldadora de obleas automatizada EVG®540

El sistema automatizado de unión de obleas EVG540 es un adhesivo de producción automatizado de una sola cámara diseñado para la fabricación en línea piloto, así como para I+D para la fabricación de grandes volúmenes en aplicaciones de empaquetado a nivel de oblea, interconexión en 3D y MEMS. Basado en un diseño modular, el EVG540 proporciona una solución probada para la transición futura de los procesos de unión de obleas de I+D a la fabricación a gran escala en nuestros sistemas de unión de producción totalmente integrados. Características Adhesivo de una sola cámara de hasta 300 mm de tamaño de sustrato Compatible con SmartView® y MBA300 Manipulación automática de hasta cuatro mandriles de sujeción Cumple con altos estándares de seguridad Datos técnicos Tamaño máximo del calentador 300 mm Cámara de carga Robot de 2 ejes Cámaras de adhesión máx 2