Regulador de presión para gas caliente JR1000

para productos químicosde diafragmamonoetapa

Visión general del producto
Soluciones de reguladores y válvulas para gas de Ultra Alta Pureza (UHP) diseñadas para plantas de semiconductores y líneas de distribución de gas para fotovoltaica avanzada. Diseñadas para operación continua en sala limpia y corrientes de gas de seis nueves de pureza.

Descripción general
Las válvulas y reguladores UHP son componentes críticos en la fabricación de semiconductores y la producción de células PV. Componentes de precisión fabricados por proveedores chinos consolidados cumplen normas internacionales de limpieza de materiales, integridad de estanqueidad y baja generación de partículas.

Especificaciones técnicas y ciencia de materiales

• Metalurgia: forjado en acero inoxidable 316L doble fundido VIM VAR para minimizar inclusiones y maximizar resistencia química.
• Topología de superficie: vías húmedas internas electropulidas a Ra < 5 μin para reducir atrapamiento de partículas y facilitar el purgado.
• Sellado hermético: diafragmas metal‑a‑metal con integridad de fugas por helio < 1×10-9 atm·cc/s.

Beneficios estratégicos para el mercado

• Protección del rendimiento: aislamiento total de gases tóxicos, corrosivos y pirofóricos (p. ej. silano, amoníaco) durante depositado y grabado.
• Integración de sistema: conexiones estándar VCR face‑seal para compatibilidad con Valve Manifold Boxes (VMB), gabinetes de gas y sistemas automatizados.
• Eficiencia de compra: opciones de suministro directo para optimizar costes proporcionando hardware certificado para sala limpia y operación 24/7.

Familia de productos — JR1000 Series
JR1000 Series — regulador de presión de una etapa para aplicaciones de flujo bajo a intermedio.

Características

• Material del cuerpo: SS 316L; opción 316L VIM VAR disponible.
• Sellado por diafragma metal‑a‑metal.
• Acabado interno electropulido alcanzando Ra < 5 μin.
• Volumen interno reducido para minimizar retención de gas.
• Presión máxima de entrada hasta 3500 psig.
• Coeficientes de flujo: Cv 0,09 y Cv 0,15.
• Capacidades de flujo: estándar 30 SLPM; opción High Flow (HF) 120 SLPM.
• Ensamblaje y embalaje en sala limpia; cada unidad sometida a prueba de fugas con helio antes del envío.

Aspectos destacados de datos técnicos
Se disponen de dibujos técnicos, diagramas dimensionales y curvas de flujo que detallan el diseño mecánico, el rendimiento y la matriz de pedido para la familia JR1000. Dimensiones en milímetros; remítase a la ficha técnica para especificaciones completas.

Datos técnicos / Especificaciones

• Serie: JR1000 Series (regulador de presión de una etapa).
• Material del cuerpo: acero inoxidable 316L; opción 316L VIM VAR.
• Acabado de superficies mojadas: electropulido, Ra < 5 μin.
• Sellado: diafragma metal‑a‑metal; integridad de fuga con helio < 1×10-9 atm·cc/s.
• Clasificación de presión de entrada: hasta 3500 psig.
• Coeficientes de flujo: Cv = 0,09 y 0,15.
• Capacidades de flujo: estándar 30 SLPM; opción HF 120 SLPM.
• Conexiones: face‑seal VCR estándar para integración en VMB y gabinetes de gas.
• Aplicaciones: plantas de semiconductores, producción fotovoltaica avanzada, laboratorios y sistemas de distribución de gas de alta pureza.
• Pruebas: prueba de fugas con helio en cada unidad; ensamblaje y embalaje en sala limpia.