Válvula de membrana LD

neumáticamanualde aislamiento

Resumen del producto
La válvula de diafragma Jewellok LD SERIES en acero inoxidable 316L VIM‑VAR de ultra alta pureza proporciona aislamiento de fluidos para sistemas de distribución de gases de semiconductores. Diseñada para salas limpias, controla gases especiales, peligrosos y corrosivos en cajas colectoras de válvulas, gabinetes de gas y conexiones punto de uso donde se requiere cero contaminación.

Ingeniería técnica principal

• Metalurgia VIM VAR: Acero 316L fundido por doble vacío y forjado para reducir inclusiones no metálicas, mejorar la resistencia a la corrosión y minimizar el riesgo de fragilización por hidrógeno.
• Trayectos húmedos electropulidos: Canales internos electropulidos con acabado ultra liso (< 5 μin Ra) para limitar la retención de partículas y facilitar el purgado.
• Sellado hermético por diafragma: Sellado metal‑a‑metal con aleaciones de alta resistencia para evitar elastómeros blandos; tasa de fuga por helio < 1×10-9 atm·cc/s.
• Volumen muerto cero: Arquitectura interna optimizada para prevenir fugas virtuales y estancamiento de fluidos, protegiendo procesos wafer submicrónicos de impurezas trazas.

Protocolos de instalación y seguridad
Las válvulas se suministran en doble bolsa para manipulación en sala limpia. Instalar únicamente en entornos certificados. Alinear el cuerpo según la flecha de flujo y conectar con racores VCR de sellado facial metálico. Realizar prueba de fugas con helio y ciclo de purga con nitrógeno antes de introducir gases tóxicos o pirofóricos. Programar inspecciones regulares para verificar el rendimiento del accionamiento neumático o manual.

LD SERIES — Válvula de diafragma manual de baja presión
Características

• Cuerpo: Acero inoxidable 316L VIM‑VAR apto para aplicaciones de ultra alta pureza; rugosidad superficial húmeda < 5 μin Ra; diseño que minimiza zonas de retención, facilita el purgado y maximiza la capacidad de flujo.

Diafragma

• Hastelloy C‑22 o superaleaciones a base de cobalto (UNS R30003) para alta resistencia y resistencia a la corrosión; optimizados para larga vida útil en ciclos.

Asiento

• Asiento PCTFE completamente contenido que resiste hinchazón y contaminación, reduce generación de partículas y mejora el rendimiento de hermeticidad con helio; ensamblado y embalado siguiendo procedimientos de limpieza estrictos.
• Cada unidad se somete a prueba de fugas de helio antes del envío.

Datos técnicos
Se proporcionan planos de referencia y diagramas de canales de flujo (dimensiones en milímetros; sujetos a cambio).

Forma del canal de flujo
Geometría optimizada para reducir volumen muerto y mejorar la eficiencia de purga.

Información de pedido
Especificaciones estándar y configuraciones de modelo disponibles; consulte las tablas de pedido o la documentación del producto para opciones.

Especificaciones técnicas

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups