Máquina de control óptica Puma™

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

El sistema de inspección por escaneado láser Puma™ 9980 incorpora múltiples mejoras de sensibilidad y velocidad que permiten la captura de defectos de interés (DOI) críticos a los rendimientos necesarios para la fabricación de gran volumen de dispositivos lógicos avanzados de 1Xnm y dispositivos de memoria DRAM y NAND 3D avanzados. Puma 9980, que forma parte de una cartera de herramientas avanzadas de inspección y revisión de defectos en obleas, ofrece la solución de mayor rendimiento para la supervisión de rampas de producción al mejorar la captura de tipos de defectos en capas de patrón avanzadas. La Puma 9980 incorpora la función NanoPoint™ design-aware, que produce resultados de inspección más procesables gracias a una mayor sensibilidad a los defectos, un mejor agrupamiento sistemático de las molestias y una mayor precisión de las coordenadas de los defectos. Supervisión de líneas, supervisión de herramientas, cualificación de herramientas Proporciona supervisión de excursiones de alta sensibilidad en todas las regiones de la matriz para dispositivos lógicos y de memoria de 2X/1Xnm. Proporciona una supervisión de excursiones de alto rendimiento en todas las regiones de troqueles para dispositivos lógicos y de memoria de ≥28 nm. Proporciona una supervisión de excursión de alto rendimiento para dispositivos lógicos y de memoria de ≥32nm.