Máquina de control óptica Surfscan®

de superficiepara wafer no grabadoindustrial

El sistema de inspección de obleas sin patrón Surfscan® SP7XP identifica defectos y problemas de calidad superficial que afectan al rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos lógicos y de memoria de vanguardia. Es compatible con la fabricación de CI, OEM, materiales y sustratos mediante la cualificación y supervisión de herramientas, procesos y materiales, incluidos los utilizados para la litografía EUV. Con un láser DUV y modos de inspección optimizados, el Surfscan SP7XP ofrece la máxima sensibilidad para I+D de nodos avanzados y el rendimiento necesario para la fabricación de grandes volúmenes. Los modos de detección complementarios, incluidos el canal de contraste de fase (PCC) y la iluminación normal (NI), detectan tipos de defectos únicos en obleas desnudas, películas lisas y rugosas, y resistivos y pilas de litografía frágiles. La clasificación de defectos basada en imágenes (IBC), que utiliza revolucionarios algoritmos de aprendizaje automático, agiliza la detección de la causa raíz, mientras que el motor de clasificación Z7™ es compatible con aplicaciones exclusivas de NAND 3D y películas gruesas. Cualificación de procesos, cualificación de herramientas, supervisión de herramientas, control de calidad de obleas salientes, control de calidad de obleas entrantes, cualificación de resistencias y escáneres EUV, depuración de procesos Sistema de gestión de recetas que facilita la portabilidad de recetas entre sistemas Surfscan compatibles, ayudando a agilizar la gestión de flotas dentro de las fábricas. Sistema de inspección de superficies de obleas sin patrón con sensibilidad DUV y alto rendimiento para la fabricación de circuitos integrados, sustratos y equipos en los nodos de diseño inferiores a 1Xnm. Sistema de inspección de superficies de obleas sin patrón con sensibilidad DUV y alto rendimiento para la fabricación de circuitos integrados, sustratos y equipos en los nodos de diseño de 1Xnm.