Máquina de control óptica C30x

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

Los inspectores de defectos ópticos de plasma de banda ancha de la serie C30x permiten el descubrimiento sistemático de defectos y la detección de defectos de fiabilidad latentes en la fabricación de chips para los mercados de automoción, IoT, 5G, electrónica de consumo e industrial (militar, aeroespacial, médico). Los inspectores C30x aprovechan una fuente de iluminación de banda ancha sintonizable, una óptica avanzada y un sensor de bajo ruido para capturar defectos críticos en una amplia gama de capas de proceso y tipos de dispositivos. La tecnología NanoPoint™ centra la inspección en áreas de patrones con alto riesgo de fallos de fiabilidad, proporcionando datos de defectos procesables que ayudan a reducir la falta y el exceso de troqueles. Mediante el descubrimiento de defectos sistemáticos, los inspectores C30x ayudan a acelerar la caracterización y optimización de nuevos procesos, nodos de diseño y dispositivos durante la I+D. En producción, la alta sensibilidad de los sistemas C30x a velocidad de inspección óptica permite la supervisión en línea de las capas críticas del proceso, lo que ayuda a las fábricas a evitar desviaciones de defectos que afectan a la calidad final del chip. Los inspectores C30x se basan en una plataforma ampliable y configurable que admite obleas de 200 mm y 300 mm. Los inspectores de plasma de banda ancha C30x incluyen las siguientes tecnologías: Fuente de iluminación de plasma de banda ancha Con una fuente de luz DUV/UV/visible de alto brillo, los inspectores de la serie C30x consiguen una mayor señalización de los defectos críticos. Bandas de longitud de onda sintonizables Numerosas bandas de longitud de onda ofrecen la flexibilidad operativa necesaria para lograr un contraste óptimo para diferentes capas de proceso y tipos de dispositivos. Múltiples píxeles El C30x incluye píxeles de pequeño tamaño, lo que permite detectar los pequeños defectos críticos que afectan al rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos. Sensor de alta velocidad de datos