Máquina de control óptica 29xx series

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

29xx Sistemas de inspección de defectos en obleas con patrón de plasma de banda ancha Los sistemas de inspección de defectos por plasma de banda ancha de la serie 295x ofrecen avances en la inspección óptica de defectos, lo que permite descubrir defectos críticos para el rendimiento en nodos de diseño de memoria de vanguardia y lógica de ≤7nm. Gracias a la tecnología mejorada de iluminación por plasma de banda ancha y a las nuevas tecnologías de detección de diseño pixel-point™ y nano-cell™, los inspectores de defectos por plasma de banda ancha 2950 y 2955 ofrecen la sensibilidad necesaria para detectar defectos críticos en una amplia gama de capas de proceso, tipos de materiales y pilas de procesos. Como estándar del sector para la supervisión en línea, la serie 295x combina la sensibilidad con la velocidad de inspección óptica de defectos en obleas, lo que permite el descubrimiento a la velocidad de la luz (Discovery at the Speed of Light™), la combinación de descubrimiento rápido de defectos y caracterización completa de problemas de defectos con un coste de propiedad óptimo. Aplicaciones Detección de defectos, Detección de puntos calientes, Depuración de procesos, Análisis de ingeniería, Supervisión de líneas, Detección de ventanas de proceso