Máquina de control óptica Puma™

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

Sistemas de inspección de defectos en obleas con patrón de escaneado láser El sistema de inspección por escaneo láser Puma™ 9980 incorpora múltiples mejoras de sensibilidad y velocidad que permiten la captura de defectos críticos de interés (DOI) a los rendimientos necesarios para la fabricación de gran volumen para dispositivos de lógica avanzada de 1Xnm y DRAM avanzada y memoria NAND 3D. Puma 9980, que forma parte de una cartera de herramientas avanzadas de inspección y revisión de defectos en obleas, ofrece la solución de mayor rendimiento para la supervisión de rampas de producción al mejorar la captura de tipos de defectos en capas de patrón avanzadas. La Puma 9980 incorpora la función NanoPoint™ design-aware, que produce resultados de inspección más procesables gracias a una mayor sensibilidad a los defectos, un mejor agrupamiento sistemático de las molestias y una mayor precisión de las coordenadas de los defectos. Aplicaciones Supervisión de líneas, supervisión de herramientas, cualificación de herramientas