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... Los sistemas de inspección de defectos por plasma de banda ancha 3935 y 3920 EP permiten la detección de defectos a nivel de oblea, el aprendizaje del rendimiento y la supervisión en línea para la lógica de ≤5nm y los nodos de diseño ...
KLA Corporation
... defectos en la cara frontal, trasera y bordes en diversas medidas de
oblea y materiales de sustrato.
Series de producto y resúmenes
- Serie 39xx: Inspección de obleas con patrón en banda
KLA Corporation
... que afectan a la calidad final del chip. Los inspectores C30x se basan en una plataforma ampliable y configurable que admite obleas de 200 mm y 300 mm. Los inspectores de plasma de banda ancha C30x incluyen las siguientes tecnologías: Fuente ...
KLA Corporation
... 3D avanzados. Puma 9980, que forma parte de una cartera de herramientas avanzadas de inspección y revisión de defectos en obleas, ofrece la solución de mayor rendimiento para la supervisión de rampas de producción al mejorar la captura ...
KLA Corporation
... seguimiento preciso del rendimiento de la superposición del dispositivo. Aplicaciones Control de superposición en el producto, supervisión en línea, cualificación de escáneres, control de patrones, dimensión crítica ...
KLA Corporation
... Descripción
AIVR es una estación de verificación CIMS impulsada por IA que combina verificación virtual y física dentro de una misma estación de trabajo. La CIMS AIVR 5μ está diseñada para soportar fabricación de alto volumen de sustratos de ...
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