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... pérdida de metal - Resolución de alta precisión Resolución del sistema 0.2-0,8 μ m - Rápida velocidad de detección Oblea con patrón: 15 minutos / oblea cuando el número de ...
... X-Y: 0,1 µm
Funciones de inspección y metrología
Obleas patternadas: residuos, grietas, arañazos, partículas, anomalías de pad, decoloración, contaminación, pelado, marcas de sonda, medición CD
Obleas ...
TRI Test Research Europe GmbH
... Sistemas de inspección de obleas con patrón de amplia gama y alta productividad Los sistemas de inspección de obleas con patrón de la serie 8 detectan ...
KLA Corporation
... Descripción
- Inspección óptica automatizada (AOI) para sustratos IC con resolución mínima línea/espacio hasta 4 µm.
- Galaxy 4Cχ es la última generación de sistemas AOI de CIMS, equipada con cámara
CIMS
... Los fabricantes requieren
inspecciones fiables para verificar matrices de micro‑agujeros, geometría de orificios, estado de bordes, acabado superficial y contaminación dentro de los orificios.
Desafíos de inspección: ...
... proporcionada por el
sistema de
inspección de
obleas.
Utilización
Gestión de defectos en el proceso de fabricación de dispositivos semiconductores / dispositivos CMOS.
Descripción ...
... Gracias a su exclusiva tecnología de diseño óptico, el sistema Imperia detecta y clasifica los defectos que merman el rendimiento, con la ventaja adicional de la supervisión simultánea de la producción por fotoluminiscencia (PL) de última ...
Onto Innovation Inc.
... El sistema GWI fue construido para detectar defectos en las obleas de vidrio al principio del ciclo de producción. El sistema se basa en una cámara inteligente de alta resolución para ...
... clasificación de obleas en el mercado nacional. Gracias a su excelente rendimiento de inspección y a su fiable automatización, el sistema de inspección se ha consolidado como la opción ...
... La herramienta de inspección óptica FRT MicroProf DI, permite la inspección de obleas estructuradas y no estructuradas durante todo el proceso de fabricación. Al combinar la inspección ...
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