Inspección óptica automatizada (AOI) para sustratos IC con resolución mínima línea/espacio hasta 4 µm.
Galaxy 4Cχ es la última generación de sistemas AOI de CIMS, equipada con cámara en color y óptica Prisma™ Gen II para adquisición de imágenes de alto contraste a velocidad de producción.
Diseñada para soportar fabricación en volumen de sustratos IC de nueva generación, combinando imágenes de alta resolución y algoritmos de detección configurables impulsados por Spark™ 3.0.
Opciones modulares y paquetes de metrología permiten flujos de trabajo de inspección y medición en línea para paneles y elementos de circuito.
Puntos destacados
Motores lineales para movimiento suave y silencioso
Plataforma mecánica compacta para integración en fábrica
Arquitectura de hardware de 6ª generación
Bloque de iluminación mejorado con opción X-WAVE™ multi-onda
Configuración rápida e intuitiva para nuevos trabajos
Compatible con automatización frontal AMHS o manipulación por robot
Opciones
Fi™ — opción de inspección final para placas terminadas
+2DM™ metrología — medida de dimensiones de panel
+2CD™ metrología — medida 2D de elementos de circuito
+3DH™ metrología — medida 3D de la altura de elementos
+3DP™ metrología — perfilado 3D de elementos de circuito
LDI™ — opción de inspección de taladrado láser
CDB™/CDBIC™ — clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
VVS™ — sistema de verificación virtual
X-WAVE™ — iluminación multi-onda
Especificaciones técnicas
Aplicación: Inspección óptica automatizada (AOI) para sustratos IC
Resolución mínima línea/espacio: 4 µm
Cámara: Cámara en color
Tecnología óptica: Prisma™ Gen II
Motor de detección: Spark™ 3.0 (cross-platform)
Sistema de movimiento: Motores lineales para movimiento suave y silencioso
Mecánica: Plataforma compacta para disposición en fábrica
Generación de hardware: Hardware de 6ª generación
Iluminación: Bloque de iluminación mejorado (X-WAVE™ opcional)
Compatibilidad de automatización: AMHS frontal o robot
Opciones de metrología: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
Otras opciones: Fi™ inspección final, LDI™ inspección de perforación láser, CDB™/CDBIC™ clasificación de defectos, VVS™ verificación virtual
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.