Estación de dosificación JW-300-LDS CDS

Resumen
El módulo de suministro de líquidos (CDM) JW-300-LDS CDS se basa en válvulas diafragma de Ultra-Alta Pureza (UHP) diseñadas para manejar grabadores agresivos y lodos abrasivos en producción de semiconductores. La selección adecuada, la monitorización y el mantenimiento de las válvulas son críticos para evitar contaminación, desprendimiento de partículas y paradas no planificadas.

Mantenimiento y recomendaciones de diseño
Opte por válvulas diafragma UHP con sello metal‑a‑metal que aislen el fluido de proceso del actuador para eliminar volúmenes muertos. Implemente monitorización predictiva mediante el PLC del CDM: registre el número de ciclos de las válvulas y los diferenciales de presión en el colector para detectar el deterioro de la membrana antes de una fuga. Establezca protocolos de enjuague con agua desionizada para evitar la cristalización de químicos en los asientos y planifique el reemplazo de componentes de alto desgaste durante ventanas de parada programadas para mantener niveles de pureza en partes por trillón (ppt) y alargar la vida útil del módulo.

Datos técnicos
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen

Opcional

• Detector de llama UV/IR
• Calentamiento de cilindro
• Calentamiento de panel
• Módulo de comunicación Ethernet
• Báscula de peso
• Interruptor de flujo excesivo
• Interruptor detector de humo

Aplicaciones

• Semiconductor
• Fotovoltaica
• Energía solar
• Pantalla de cristal líquido
• Fibra óptica
• Otros campos de producción

Productos químicos especiales manejados

• HF - ácido fluorhídrico
• HCL - ácido clorhídrico
• H2O2 - peróxido de hidrógeno
• KOH - hidróxido de potasio
• HNO3 - ácido nítrico
• NH4OH - hidróxido de amonio
• H2SO4 - ácido sulfúrico

Funciones

• Filtración de químicos líquidos
• Muestreo de químicos líquidos
• Circulación de químicos líquidos
• Suministro/entrega de químicos líquidos

Notas sobre construcción y rendimiento
Las rutas en contacto con el fluido utilizan acero inoxidable 316L electropulido con acabado superficial 5Ra para minimizar la liberación de partículas y asegurar compatibilidad química. Las válvulas diafragma UHP propietarias presentan sellado metal‑a‑metal y automatización controlada por PLC para gestión de recetas y mantenimiento predictivo. Las medidas de seguridad multinivel incluyen contención secundaria, cubrimiento con nitrógeno y detección automática de fugas para proteger al personal y el rendimiento.

especificaciones técnicas

• Model: JW-300-LDS CDS
• Tamaño del armario: W1900 × D800 × H2100
• Alimentación de control: 220VAC, 50Hz, 500W; potencia de calefacción: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
• Gas de purga: PN2, 1/4" MVCJ
• Mantenimiento alta presión: GN2, 1/4" MVCJ
• Conexión vacío: 1/2" MVCJ
• Tubo de drenaje VENT: CDA driver, 1/4" SWG
• Capacidad fuente de aire neumático: OD 150mm; silano 810 m³/hr; otros 204 m³/hr
• Capacidad ventilación armario: OD 150mm; silano 810 m³/hr; otros 204 m³/hr
• Interfaz de operación: pantalla táctil color 10"
• Características/equipos estándar de seguridad: conmutación automática, purga automática, armario a prueba de explosiones, puerta autobloqueante a prueba de explosiones, ventana de observación de vidrio a prueba de explosiones, alarma de fugas, corte remoto, alarma de presión negativa
• Materiales y acabado: acero inoxidable 316L electropulido, acabado superficial 5Ra
• Funciones clave: filtración, muestreo, circulación, suministro de químicos líquidos especiales