Las etapas de escáner de nanoposicionamiento SMARFLEX aprovechan las ventajas de las flexiones mecánicas piezoeléctricas para realizar tareas de posicionamiento de alta precisión de hasta varios 100 μm.
El PLF5252-x.200 ofrece un rango de exploración de más de 200 μm en la dirección X. Con un peso de 90 g, es muy ligero y también bastante compacto, con 52 x 52 x 15 mm.
Especificaciones
Alcance de exploración [µm] - > 200
Fuerza normal máx. Fuerza normal [N] - 5,0
Dimensiones [mm] - 52 x 52 x 15
Peso [g] - 90
Material
Material de la base - Titanio(-TI) / Base de aluminio (-Al)
- Bucle abierto
Resolución en bucle abierto MCS2 [nm] - MCS2: <1
- Bucle cerrado
Resolución del sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S)
- Opciones
Opciones de vacío - HV (10-⁶mbar)
Opción no magnética - Sí (- NM)
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