Las etapas de escáner de nanoposicionamiento SMARFLEX aprovechan las ventajas de las flexiones mecánicas piezoeléctricas para realizar tareas de posicionamiento de alta precisión de hasta varios 100 μm.
El PLF3232-xy.60 ofrece un rango de exploración de 60 μm en las direcciones X e Y. Con un peso de 45 g, es muy ligero y también bastante compacto, con 32 x 32 x 20 mm. Combina dos escáneres PLF3232-x.60 en uno, con menos altura de construcción pero el mismo rendimiento.
Debido al tamaño y al patrón de orificios, se adapta perfectamente a otras etapas lineales y posicionadores como el CLS-3232, en los que se combinan un largo recorrido y una alta precisión.
Especificaciones
Alcance de exploración [µm] - > 60
Máx. Fuerza normal [N] - 5
Dimensiones [mm] - 32 x 32 x 20
Peso [g] - 45
Material
Material de la base - Titanio(-TI) / Base de aluminio (-Al)
Bucle abierto
Resolución en bucle abierto MCS2 [nm] - MCS2: <1
Bucle cerrado
Resolución del sensor MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S)
Opciones
Opciones de vacío - HV (10-⁶mbar)
Opción no magnética - Sí (- NM)
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