Generadores de plasma PE-CVD TRUMPF

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generador de plasma industrial
generador de plasma industrial
TruPlasma RF Air Sériés 1000

... Hüttinger y la salida CombineLine para procesos de plasma estables.

Funciones principales

  • Smart Auto Frequency Tuning (AFT): ajuste rápido y óptimo de frecuencia entre generador y matchbox.
  • Gestión
...

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TRUMPF lasers
generador de plasma programable
generador de plasma programable
TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1)

... Resumen
La TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) son generadores de pulsos bipolares diseñados para procesos de recubrimiento asistido por plasma, como PVD, PECVD y pulverización reactiva. Ofrecen ...

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TRUMPF lasers
generador de plasma programable
generador de plasma programable
TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

... Resumen
Generador de plasma microondas de estado sólido, diseñado para alcanzar elevadas densidades de plasma y satisfacer procesos industriales exigentes. La serie TruPlasma MW utiliza tecnología ...

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TRUMPF lasers
generador de plasma controlado por PC
generador de plasma controlado por PC
TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

... ambiente, apto para salas limpias.

Aplicaciones Los generadores TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) están destinados a procesos plasma como RIE, ALD, PECVD y pulverización RF. ...

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TRUMPF lasers
generador de plasma radiofrecuencia
generador de plasma radiofrecuencia
TruPlasma RF Series 3000

... armonización con el sistema RF TRUMPF ( generador + matchbox + SystemPort).
Aplicaciones

  • Procesos de aplicación de capas y grabado: plasma etch, RIE (etching iónico reactivo), ALD, PECVD.
  • Recubrimiento
...

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generador de plasma PE-CVD
generador de plasma PE-CVD
TruPlasma DC Series 4000 (G2)

... reactiva de materiales difíciles. Admite operación en modo pulsado y en modo Bias, ofreciendo un rendimiento de plasma estable para procesos PVD y PECVD críticos y minimizando las interrupciones por arcos y los daños ...

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