Generador de plasma industrial TruPlasma RF Air Sériés 1000

para tratamiento de superficiecontrolado por PCprogramable

Resumen
El generador RF refrigerado por aire TruPlasma RF 1001 Air entrega hasta 1000 W de potencia RF dosificada con precisión y reproducible, con resolución de 0,1 W (pasos de 100 mW). Está concebido para la fabricación de semiconductores, células solares y pantallas, integrando la tecnología patentada TRUMPF Hüttinger y la salida CombineLine para procesos de plasma estables.

Funciones principales

• Smart Auto Frequency Tuning (AFT): ajuste rápido y óptimo de frecuencia entre generador y matchbox.
• Gestión de arcos de alta precisión: detección temprana y protección en procesos sensibles.
• Multi‑Level Pulsing: formas de pulso configurables en varios niveles para control avanzado del proceso.
• Modularidad Plug & Play: unidad insertable ½‑19 pulgadas para fácil sustitución y retrofit.
• Salida real de 50 Ω (CombineLine): potencia de proceso homogénea y menor sensibilidad a variaciones de carga.
• Familia de generadores uniforme: misma tecnología en diferentes clases de potencia para simplificar la integración.
• Independencia de la longitud del cable RF: no requiere ajuste de longitud tras cambios en el sistema.

Aplicaciones

• Reactive‑ion etching (RIE)
• Atomic layer deposition (ALD)
• Plasma‑enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
• RF sputtering
• Fabricación de semiconductores, MEMS, pantallas planas y celdas solares

Beneficios para el cliente y funciones del sistema

• Alta repetibilidad: dosificación de energía en pasos de 100 mW para consistencia wafer‑a‑wafer.
• Diseño compacto y ahorro de espacio: unidad insertable ½‑19 pulgadas, adecuada para instalaciones nuevas y retrofit.
• Amplias interfaces para integración: E/S analógica configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT.
• Soporte TRUMPF SystemPort: control en lazo cerrado, medida RF en tiempo real en entrada/salida de la matchbox, protección y supervisión del proceso.
• Funciones digitales de proceso: AFT 2.0, gestión de arcos, Multi‑Level Pulsing para ajuste fino a los requisitos del proceso.

Especificaciones técnicas

• Clase de potencia: hasta 1000 W (TruPlasma RF 1001 Air)
• Resolución de potencia: 0,1 W (pasos de 100 mW)
• Refrigeración: por aire
• Impedancia de salida: 50 Ω real (CombineLine)
• Impulsado: multi‑nivel, formas de pulso seleccionables
• Ajuste automático de frecuencia: Smart AFT para sintonía rápida generador–matchbox
• Formato: unidad insertable compacta ½‑19 pulgadas
• Interfaces: E/S analógica configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT
• Control sistema: TRUMPF SystemPort para control en lazo cerrado y medidas en tiempo real