Generador de plasma controlado por PC TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

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Resumen Alimentación de plasma estable y reproducible para producción de alto rendimiento. Los generadores TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) integran electrónica de potencia moderna, control preciso de salida y adaptación CombineLine para una impedancia de salida real de 50 Ω.

Ventajas principales

• Alta precisión y reproducibilidad gracias a la tecnología CombineLine con 50 Ω reales.
• Independencia de la longitud del cable RF: no se requiere adaptación de longitudes.
• Protección frente a potencia reflejada en condiciones de desadaptación para operación segura.
• Alta eficiencia energética—hasta un 80% de eficiencia, reduciendo costes energéticos.
• Refrigeración sin ventilador que evita calentamiento y contaminación del aire ambiente, apto para salas limpias.

Aplicaciones Los generadores TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) están destinados a procesos plasma como RIE, ALD, PECVD y pulverización RF. Sectores típicos: fabricación de semiconductores, MEMS, recubrimiento de pantallas planas y producción de celdas fotovoltaicas.

Beneficios para el cliente e integración del sistema

• Matching inteligente en tiempo real para un ajuste rápido de impedancia a 50 Ω y estabilización del plasma.
• Fuentes de alimentación integradas de rango ultraamplio (200–480 VAC) que simplifican la instalación en diferentes tensiones de red.
• Múltiples interfaces para integración: analógica configurable, RS-232/485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT.
• Formato compacto de alta densidad disponible en unidad enchufable 19" o ½-19" para ahorro de espacio.
• SystemPort TRUMPF para control en bucle cerrado mediante medida de señales RF en entrada/salida del matchbox, mejorando la monitorización y la detección temprana de arcos.

Opciones

• Auto Frequency Tuning: ajuste de frecuencia rápido y simultáneo patentado para optimizar la interacción generador–matchbox.
• Gestión de arcos RF: detección dirigida de arcos para proteger productos y equipos y maximizar la productividad.

Componentes del sistema y accesorios

• Matchboxes TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) para transferencia óptima de potencia; operables de forma autónoma o vía SystemPort.
• Osciladores maestros: sintetizadores digitales de frecuencia y fase para estabilizar procesos síncronos (p. ej. 13,56 MHz).
• Conmutadores RF: permiten el uso de un generador en varias estaciones de proceso (2/3/4 salidas; distintas clases de potencia).
• Cables coaxiales: cables TRUMPF Hüttinger diseñados para sistemas de 50 Ω.

Notas La gama de productos, las especificaciones y la disponibilidad de accesorios pueden variar según el país y estar sujetas a cambios.

Características / especificaciones técnicas

• Serie: TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)
• Procesos aplicables: RIE, ALD, PECVD, pulverización RF
• Industrias típicas: semiconductores, solar, recubrimiento de pantallas planas, MEMS
• Tecnología: CombineLine para impedancia de salida verdadera de 50 Ω
• Rendimiento: hasta 80%
• Refrigeración: sin ventilador (apto para salas limpias)
• Alimentación: 200–480 VAC (ultraamplio)
• Formato: unidad enchufable 19" o ½-19"
• Interfaces: analógica configurable, RS-232, RS-485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT
• Opciones: Auto Frequency Tuning, gestión de arcos RF
• Funciones del sistema: SystemPort TRUMPF para control en bucle cerrado y detección temprana de arcos
• Soporte de oscilador maestro: 13,56 MHz y otras combinaciones de frecuencias