Generador de plasma PE-CVD TruPlasma DC Series 4000 (G2)

PVD

Resumen
La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) es una fuente de alimentación DC pulsada desarrollada para la pulverización reactiva de materiales difíciles. Admite operación en modo pulsado y en modo Bias, ofreciendo un rendimiento de plasma estable para procesos PVD y PECVD críticos y minimizando las interrupciones por arcos y los daños al sustrato.

Lema
Procesos pulsados para superficies brillantes

Características clave

• Procesamiento digital de señales para un control de plasma estable y reducción de tiempos de inactividad por arcos.
• Gestión rápida de arcos con baja energía de arco para minimizar daños en el sustrato y defectos superficiales.
• Amplio rango de frecuencia de impulsos y tensión inversa/bias ajustable para una configuración de proceso flexible.
• Diseño compacto y robusto con refrigeración por agua integrada para ahorrar espacio y reducir mantenimiento.
• Funcionalidad dual: admite modos pulsado y Bias en una sola unidad.

Aplicaciones

• Recubrimientos duros: plasma estable para alta dureza superficial y mejor resistencia térmica/química.
• Metalización (PVD): depósito de capas metálicas ultrafinas y homogéneas para propiedades ópticas y eléctricas.
• Fotovoltaica: adecuado para el depósito de TCO y capas conductoras con requerimientos de baja energía de arco.
• Vidrio arquitectónico: recubrimientos PVD en grandes áreas con necesidades elevadas de alimentación de proceso.

Beneficios para el cliente

• Mejora de la calidad del recubrimiento y la productividad mediante la reducción de gotas, menos defectos superficiales y mayores tasas de deposición.
• Flexibilidad de proceso mediante parámetros de pulso ajustables y operación en Bias para diversas aplicaciones.
• Herramientas avanzadas de monitorización y diagnóstico para optimizar procesos y reducir tiempos de inactividad.

Opciones

• Operación en paralelo y sincronización de múltiples generadores, incluyendo sincronización de detección de arcos y del modo de pulso para sistemas multi-blanco.

Software
PVD Power: software multilingüe e intuitivo para operación, configuración y diagnóstico. Muestra valores de proceso, advertencias/alarms, permite la especificación de valores objetivo y registra/visualiza parámetros de funcionamiento con alta resolución temporal (función osciloscopio).

Especificaciones técnicas

• Tecnología: DC pulsado para pulverización reactiva; soporta modo Bias.
• Modos de operación: pulsado y Bias (ambos en una misma unidad).
• Gestión de arcos: digital, tratamiento rápido con baja energía de arco.
• Control de proceso: procesamiento digital de señales; amplio espectro de frecuencias de impulso; tensión inversa ajustable.
• Refrigeración: chiller de agua integrado para instalación compacta y menor mantenimiento.
• Escalabilidad: admite operación paralela y sincronización de varias unidades.
• Software: PVD Power para operación, configuración, diagnóstico y registro/visualización de datos (función osciloscopio).
• Aplicaciones típicas: recubrimientos duros PVD/PECVD, metalización (TCO), fabricación de células fotovoltaicas, recubrimiento de vidrio arquitectónico a gran escala.