Generador de plasma programable TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

alta frecuenciaradiofrecuenciacontrolado por PC

Resumen
Generador de plasma microondas de estado sólido, diseñado para alcanzar elevadas densidades de plasma y satisfacer procesos industriales exigentes. La serie TruPlasma MW utiliza tecnología solid‑state que ofrece mayor precisión de frecuencia frente a sistemas basados en magnetrón. Su plataforma modular permite una escalabilidad precisa de la potencia manteniendo suministro estable y calidad de proceso constante.

Principales ventajas

• Tecnología microondas de estado sólido con alta precisión de frecuencia
• Concepto de plataforma modular para escalado preciso de la potencia
• Ajuste automático de frecuencia (auto frequency tuning) para alta reproducibilidad
• Fases sincronizadas: operación phasing y pulsada de múltiples generadores en sistemas multiantena para mejorar la homogeneidad del plasma
• Diseño robusto que garantiza funcionamiento fiable incluso en caso de desajuste
• Modulación digital de frecuencia de alta precisión para control de proceso reproducible
• Comunicación en tiempo real mediante EtherCAT para control en milisegundos y distribución precisa del plasma

Aplicaciones

• Producción de células fotovoltaicas: sputtering, PECVD y otros procesos de deposición/ablación
• Fabricación de semiconductores: grabado en seco y procesos plasma avanzados
• Recubrimiento de pantallas planas y displays: PECVD, ALD, RIE y procesos relacionados

Ventajas para los procesos

• Máximas densidades de plasma para aplicaciones exigentes
• Dosis precisa de energía y regulación fina de potencia para repetibilidad wafer‑to‑wafer
• Suministro de potencia estable que mantiene la calidad del proceso ante variaciones
• Mejora de la homogeneidad del plasma mediante ajuste de coherencia de fase entre generadores

Características técnicas / especificaciones

• Familia de productos: TruPlasma MW Serie 1000 / 3000 / 5000
• Ejemplo de modelo en esta página: TruPlasma MW 3002
• Tecnología: generador microondas de plasma en estado sólido
• Control de frecuencia: modulación digital de frecuencia de alta precisión
• Ajuste automático de frecuencia: adaptación automática para optimizar resultados
• Operación multiunidad: phasing sincronizado para sistemas multiantena
• Interfaz: EtherCAT digital para comunicación en tiempo real
• Diseño: plataforma modular, escalable y robusta
• Sectores objetivo: fabricación de semiconductores, fotovoltaica, recubrimiento de pantallas