Sistema de nanoposicionamiento multiaxial SMARPOD 110.45

hexápodocon cinemática paralelade alto vacío

El SMARPOD 110.45 de tamaño medio es capaz de posicionar cargas útiles de hasta 5 N con 6 DoF. El SMARPOD 110.45 es un sistema de posicionamiento tipo hexápodo de tamaño medio. Gracias a sus amplios rangos de desplazamiento, es extremadamente versátil. Opcionalmente, la placa base puede equiparse con postes de montaje para herramientas, componentes o sensores, convirtiendo el sistema de posicionamiento en un dispositivo central para el microensamblaje y cualquier otra aplicación que implique una alineación precisa. Al igual que otros SmarAct SMARPOD, el 110.45 también está disponible en una versión de alto y ultra alto vacío o fabricado con materiales totalmente no magnéticos. Mecánica Recorrido [mm] - 20 (X); 20 (Y); 10 (Z) Recorrido [ - 21 (Θx); 24 (Θy); 38 (Θz) Máx. Fuerza normal [N] - 5 Max. Fuerza horizontal [N] - 2,5 Dimensiones [mm] - Ø 110 Altura de la plataforma sobre el suelo [mm] - 45 Peso [g] - 400 Bucle cerrado Tipos de sensores - S; SC Incremento más pequeño [nm] - 1 Incremento más pequeño [µrad] - 1 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidad de bucle cerrado, recorrido de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opciones Opciones de vacío - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opción no magnética - Sí (-NM)