para bucle cerrado (hasta 50 nm de resolución)
para el sistema NOVA
Etapas de traslación en miniatura con accionamiento piezoeléctrico inercial para el sistema NOVA. Edición estándar
Datos técnicos
Anchura - 70 mm
Altura - 20 mm
Profundidad - 70 mm
Velocidad - 1 mm/s
Carga máxima
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Fuerza de bloqueo (Fx) - 9 N
Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 30 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 1 um
Desviación lateral - 2 um
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