para condiciones de alto vacío de hasta 10^(-6) mbar
diseño ultracompacto
xyz - combinación posible
Etapas de traslación en miniatura ultrapequeñas con accionamiento piezoeléctrico de inercia. Edición para vacío de MS15.
Datos técnicos
Anchura - 15 mm
Altura - 7 mm
Profundidad - 15 mm
Velocidad - 1,5 mm/s
Carga máxima
Momento (Mx) - 4 Ncm
Momento (My) - 4 Ncm
Momento (Mz) - 4 Ncm
Fuerza de bloqueo (Fx) - 3 N
Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 20 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 1 um
Desviación lateral - 2 um
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