Platina de posicionamiento de traslación MS30

piezoeléctricaen miniatura

para funcionamiento en bucle cerrado (resolución de hasta 50 nm) combinaciones multieje sin placas adaptadoras Etapa de traslación en miniatura con accionamiento piezoeléctrico inercial con sistema de medición. Datos técnicos Anchura - 52 mm Altura - 12,5 mm Profundidad - 30 mm Velocidad - 1,2 mm/s Carga máxima Momento (Mx) - 5 Ncm Momento (My) - 5 Ncm Momento (Mz) - 5 Ncm Fuerza de bloqueo (Fx) - 4,5 N Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 30 N Precisión de guiado Ángulo de guiñada - 170 segundos de arco Ángulo de cabeceo - 160 segundos de arco Desviación vertical - 3 um Desviación lateral - 3 um Información de medición Marca de referencia - centro Resolución - 1um a 50 nm Tensión de alimentación - 5 V Consumo de energía - 150 mA