para condiciones de alto vacío de hasta 10^(-9) mbar
carcasa especialmente plana (10 mm de altura)
Etapas de traslación en miniatura con accionamiento piezoeléctrico de inercia. Edición UHV del DS 30.
Datos técnicos
Anchura - 30 mm
Altura - 10 mm
Profundidad - 30 mm
Carga máxima
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momentum (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Fuerza de bloqueo (Fx) - 4,5 N
Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 30 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 1 um
Desviación lateral - 2 um
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