para las condiciones del vacío ultraalto hasta 10^ (- 9) mbar
diseño ultra compacto
viaje de 3.5m m
huella de 15 x 15 milímetros
Etapas miniatura ultra pequeñas de la traducción con la impulsión de inercia ecléctica piezoeléctrica. Edición de UHV de MS15.
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