Platina de posicionamiento lineal MS38

piezoeléctricade un ejeen miniatura

para condiciones de alto vacío de hasta 10^(-9) mbar abertura libre de 10 mm para el paso de rayos Etapas de translasción en miniatura con abertura libre de 10 mm y accionamiento piezoeléctrico inercial. Edición UHV de MS 38. Datos técnicos Anchura - 38 mm Altura - 9,5 mm Profundidad - 40 mm Carga máxima Momentum (Mx) - 4 Ncm Momentum (My) - 4 Ncm Momento (Mz) - 4 Ncm Fuerza de bloqueo (Fx) - 4,5 N Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 20 N Precisión de guiado Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco Desviación vertical - 1 um Desviación lateral - 2 um