ProductoSistema de exposición de wafers totalmente automático (mask aligner) para la producción de chips LED. Compatible con Micro LED y wafers LED estándar; disponible en dos versiones combinadas para wafers de 2–4 pulgadas y 4–6 pulgadas.
Descripción generalSe ofrecen dos versiones del sistema de exposición totalmente automático para cubrir distintos rangos de tamaño de wafer:
- Tipo combinado 2–4 pulgadas
- Tipo combinado 4–6 pulgadas
AplicacionesDiseñado para procesos de exposición de Micro LED y LED en I+D y líneas de producción.
Especificaciones- Capacidad tact (primera etapa): 150 piezas o más por hora
- Capacidad tact (segunda etapa): 130 piezas o más por hora
- Precisión de alineación: ≤ 0,5 μm
Características técnicas- Manipulación automática de wafers y alineación de máscara
- Soporte para tamaños de wafer combinados: 2–4 pulgadas y 4–6 pulgadas
- Diseñado para un alineamiento preciso y el rendimiento de producción especificado