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... Los sistemas de inspección de defectos por plasma de banda ancha 3935 y 3920 EP permiten la detección de defectos a nivel de oblea, el aprendizaje del rendimiento y la supervisión en línea para la lógica de ≤5nm y los nodos de diseño ...
KLA Corporation
... defectos en la cara frontal, trasera y bordes en diversas medidas de
oblea y materiales de sustrato.
Series de producto y resúmenes
- Serie 39xx: Inspección de obleas con patrón en banda
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... que afectan a la calidad final del chip. Los inspectores C30x se basan en una plataforma ampliable y configurable que admite obleas de 200 mm y 300 mm. Los inspectores de plasma de banda ancha C30x incluyen las siguientes tecnologías: Fuente ...
KLA Corporation
... 3D avanzados. Puma 9980, que forma parte de una cartera de herramientas avanzadas de inspección y revisión de defectos en obleas, ofrece la solución de mayor rendimiento para la supervisión de rampas de producción al mejorar la captura ...
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... : inspección de defectos en la cara frontal de la oblea; inspección, perfil, metrología y revisión de defectos en el borde de la oblea; inspección y revisión de defectos en la cara posterior de la oblea; ...
KLA Corporation
... gruesas. Cualificación de procesos, cualificación de herramientas, supervisión de herramientas, control de calidad de obleas salientes, control de calidad de obleas entrantes, cualificación ...
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... sistemas de revisión y clasificación de defectos en obleas e-Beam El sistema de revisión y clasificación de defectos de obleas por haz de electrones (e-beam) eDR7380™ es compatible con la fabricación de obleas ...
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... seguimiento preciso del rendimiento de la superposición del dispositivo. Aplicaciones Control de superposición en el producto, supervisión en línea, cualificación de escáneres, control de patrones, dimensión crítica ...
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