ResumenEl NUCLEUS es una herramienta pick & place de precisión multiusos diseñada para procesos 2.5D, fan-out y packaging embebido. Soporta modos face-up y face-down con alineamiento local y global para un posicionamiento de alta precisión.
Aplicaciones- Packaging Fan-out a nivel wafer (FOWLP) e integración de dies embebidos
- Procesos flip-chip y unión directa de chips, incluyendo inmersión en flux
- Manejo de sustratos wafer desnudos, wafer sobre carrier y sustrato sobre carrier
- Aplicaciones de unión con alta fuerza y procesos térmicos
Características clave- Alineamiento local y global preciso que permite colocaciones submicrónicas
- Modos de operación face-up y face-down para flujos de montaje variados
- Manejo directo de dies y wafers desnudos, compatible con carriers
- Sistema automático de cambio de herramienta para ensamblado multi-chip y cambios rápidos de formato
- Soporte para altas fuerzas de unión y control térmico integrado
- Opción de inmersión en flux para unión directa y flip-chip
- Estándar de limpieza Clase 100 durante la unión para procesos sensibles a la contaminación
Otras configuraciones para el mercado- NUCLEUS XD: capacidad para manejar dies extragrandes hasta 70 mm × 70 mm
- NUCLEUS XLplus: capacidad para manejar sustratos extragrandes hasta 600 mm × 670 mm
Especificaciones técnicas- Pick & place de precisión multiusos para aplicaciones 2.5D, fan-out y embebidas
- Operación: face up y face down
- Alineamiento: sistemas de alineamiento local y global
- Soporte de procesos: flip-chip, unión directa de dies (incl. inmersión en flux), altas fuerzas de unión y unión térmica
- Manejo: sustrato wafer desnudo, wafer sobre carrier, sustrato sobre carrier
- Automatización: cambiador automático de herramienta para ensamblado multi-chip
- Limpieza: estándar Clase 100 durante la unión
- Configuraciones opcionales de gran formato: NUCLEUS XD (≤ 70 mm × 70 mm die), NUCLEUS XLplus (≤ 600 mm × 670 mm substrate)