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Microsoldadora de chips eutécticas NOVA Pro
para die attachflip-chipde epoxi

Microsoldadora de chips eutécticas - NOVA Pro - ASM Assembly Systems - para die attach / flip-chip / de epoxi
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Características

Tecnología
flip-chip, de epoxi, para die attach, eutécticas, multi-chip, térmica, chip-on-submount
Especificaciones
automatizada
Aplicaciones
para la industria de los semiconductores, para microestructuras, para obleas, para sensor, MEMS
Otras características
de alta precisión, configurable, de gran superficie
Precisión de colocación

1 µm

Descripción

Resumen del producto El NOVA Pro de ASMPT AMICRA es un sistema de colocación de dies diseñado para el ensamblaje de die attach y flip‑chip con alta precisión. Mantiene una exactitud de colocación de ±1,0 µm @ 3σ y puede operar a temperaturas de unión superiores a 350°C aplicando fuerzas de unión elevadas. Integra alineamiento dinámico y calentamiento del sustrato por láser, y soporta procesos de termocompresión (TCB) y tareas relacionadas con TSV.

Aplicaciones / Sectores
  • Optoelectrónica
  • Fotónica de silicio
  • Ensamblaje de VCSEL y diodos láser
  • Ensamblaje de fotodiodos
  • Fijación de lentes con adhesivos UV
  • Ensamblajes Active Optical Cable (AOC)
  • Paquetes de transceptores
  • Flip chip
  • 3D IC / 2.5D IC
  • Termocompresión (TCB)
  • Procesos Through‑Silicon Via (TSV)
  • Chip on Chip, Chip on Wafer, Chip on Substrate
  • Multi‑Chip Module (MCM)
  • Adhesión epoxi para packaging avanzado
  • Adhesión eutéctica in‑situ
  • Ensamblaje de MEMS y sensores
  • WLP / eWLP


Características clave
  • Bonder de alta precisión para die / flip‑chip
  • Precisión de colocación: ±1,0 µm @ 3σ
  • Capacidad de unión a temperaturas > 350°C con altas fuerzas
  • Tiempo de ciclo < 3 s
  • Concepto de máquina modular para micro‑ensamblaje
  • Unión eutéctica por diode‑laser, placa calefactora o estampado/dispensing de epoxi
  • Capacidad de multi flip‑chip
  • Mapeo de wafer
  • Inspección y medición post‑unión
  • Control activo de fuerza de unión
  • Método de alineamiento dinámico y calentamiento del sustrato por láser


Carga automática
  • Wafers hasta 12"
  • Wafers de 300 mm
  • Wafers sustrato de 450 mm


Opcional
  • Curado UV
  • Dispensing
  • Módulos adicionales disponibles


Especificaciones técnicas
  • Precisión de colocación: ±1,0 µm @ 3σ
  • Área de trabajo del sustrato: 550 x 600 mm
  • Tiempo de ciclo: < 3 s
  • Control activo de la fuerza de unión
  • Métodos de unión eutéctica: diode‑laser, placa calefactora, estampado y dispensing de epoxi
  • Soporte para termocompresión (TCB) y procesos TSV
  • Multi flip‑chip
  • Capacidad de mapeo de wafer
  • Inspección / medición post‑unión
  • Alineamiento dinámico y calentamiento del sustrato por láser
  • Capaz de unir a temperaturas superiores a 350°C
  • *El rendimiento depende del paquete y los materiales

Catálogos

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.