La plataforma VULCANO XYZ3TH se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo combinado Z3TH. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles, amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de ±0.1°.
Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Alta dinámica: 2,5 g, 1,5 m/s
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1
- Corrección tip-tilt sobre ±0.1°
- Doble integración Z
- Compensador de gravedad integrado para Z
- Excelente linealidad en Z
- Repetitividad y jitter en Z mejorados
- Capacidad de corrección planitud de la plataforma
- Suministro de vacío a nivel del plato